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文献检索:
  • 真空卷绕镀膜技术研究进展
  • 本文从系统结构、参数控制和镀膜方式等综述了真空卷绕镀膜技术研究进展。按结构可分为单室、双室和多室真空卷绕系统,后两者可解决开卷放气问题并分别控制卷绕和镀膜室各自真空度。卷绕张力控制分锥度、间接和直接控制模型,锥度控制模型可解决薄膜褶皱和径向力分布不均的问题;间接张力控制无需传感器,可用内置张力控制模块的矢量变频器代替;直接张力控制通过张力传感器精确测量张力值,但需惯性矩和角速度等多种参数。真空卷绕镀膜主要有真空蒸发、磁控溅射等方式,可用于制备新型高折射率薄膜、石墨烯等纳米材料和柔性太阳能电池等半导体器件。针对真空卷绕镀膜技术研究现状及向产业化过渡存在的问题,最后作了简要分析与展望。
  • 电弧离子镀TiN/Ti纳米多层膜的力学性能
  • 采用多弧离子镀技术,在不同沉积参数下合成具有纳米调制周期的TiN/Ti多层膜。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、XP-2台阶仪、XP型纳米压痕仪、X射线能谱仪(EDS)研究了调制周期对TiN/Ti纳米多层膜微观结构、表面形貌以及力学性能的影响。结果表明,膜层由TiN和Ti交替组成,不存在其它杂相,且TiN薄膜以面心立方结构沿(111)密排面择优生长;TiN/Ti多层膜外观致密、平滑、颜色均匀金黄,随着调制周期的减小,薄膜表面大颗粒数量和尺寸均减小,且氮含量逐渐升高,膜层硬度呈现出增大的趋势。
  • 四川省真空学会举办2015年磁控溅射技术交流会
  • 2015年9月15-16日四川省真空学会与成都南光机器有限公司共同举办了磁控溅射技术交流会,本次技术交流会特邀美国Angstrom Sciences公司专家来成都进行了目前国际磁控溅射技术最新进展的磁控溅射源技术的交流和技术培训。本次技术交流及培训共有来自九家单位的20多名技术人员参加,会议主要交流内容:
  • 中频脉冲非平衡磁控溅射技术制备类金刚石膜的结构与性能
  • 利用中频脉冲非平衡磁控溅射技术在载玻片上制备了类金刚石(DLC)薄膜,研究了沉积气压对薄膜厚度、微观结构、机械性能和光学性能的影响。厚度测试结果表明,DLC膜厚度随沉积气压的增加而增加。X射线光电子能谱测试结果表明,当沉积气压由0.18Pa增加到1.50Pa时,DLC薄膜中sp~3杂化碳含量随沉积气压的增加而减少。纳米压痕和椭偏仪测试结果表明,DLC膜的纳米硬度、折射率均随沉积气压的增加而减小。采用浅注入模型分析了沉积气压对薄膜生长和键合结构的影响。以上结果表明,沉积气压对DLC膜的厚度、sp~3杂化碳含量、机械与光学性能具有较大的影响。
  • 深圳市真空学会召开第五届二次会员代表大会暨2015年学术年会
  • 深圳市真空学会五届二次会员代表大会暨2015年学术年会,于2015年11月14日在深圳大学科技楼报告厅隆重召开。出席会议的有深圳市真空学会现任和部分往届领导,中国真空学会常务副秘书长刘锋教授应邀出席会议,170余名来自全国各地真空领域相关人员参加会议。范平理事长代表学会作了学会换届一年来的工作报告,
  • (TiZr)N硬质膜的沉积工艺研究
  • 本文主要研究(TiZr)N硬质膜的沉积工艺波动范围及影响。考察了阴极靶电流、N_2气流量等工艺参数对膜层组织和性能的影响。研究表明,沉积工艺参数的波动变化不会对膜层组织、力学性能产生明显影响。(TiZr)N硬质膜的沉积工艺参数可以有较大的波动范围,沉积工艺窗口具有良好的可应用性。
  • 太空旅游燃热点 科普教育新突破——510所《载人航天与太空旅游》正式出版
  • 2015年5月,由510所李得天研究员等编著的《载人航天与太空旅游》一书由甘肃科学技术出版社正式出版。《载人航天与太空旅游》全书22万字,作为《科技新生活》科普丛书中之一,是510所近年来出版的第一本主要面向青少年的科普图书。本书抓住了太空旅游这一新的、容易引发青少年兴趣的热点,通过讲故事的形式,
  • 蒸汽喷射器数值模拟研究进展
  • 本文对蒸汽喷射器的数值模拟研究进行了综述。通过对其发展历程的分析总结,对蒸汽喷射器内复杂流场有了较为清晰的认识。对模拟分析过程中凝结、蒸汽热力学物性、模拟模型等问题的影响及处理方法进行了分析总结。通过归纳分析,了解了当前喷射器模拟研究现状,对蒸汽喷射器数值模拟研究的趋势进行展望,并致力探寻更为精确的模拟模型。
  • 螺杆真空泵技术领域的专利分析
  • 利用德温特创新索引数据库和专利信息服务平台,针对国际和国内两个市场,采集了2015年之前的专利数据信息,重点分析了螺杆真空泵行业的年度发展态势、主要专利权人、主要发明人、行业研发热点等方面,最后得出螺杆真空泵行业的研发状况及竞争态势的相关结论。
  • 航天510所“高精度微小气体流量测量新技术及应用”获国家技术发明二等奖
  • 随着我国航天、核工业等领域快速发展,对微小气体流量的精确测量提出了迫切需求。不论是月球样品封装装置中用到的真空漏率测量,还是载人飞船舱门检漏中用到的正压漏率测量,均与高精度微小气体流量测量技术密不可分。针对以上需求,航天510所通过十余年的持续研究,提出了微小气体流量测量、真空漏率测量、正压漏率测量等新方法,并取得重大创新与突破。
  • 一种双螺杆真空泵转子的接触线及动平衡特性研究
  • 对一种双螺杆真空泵普遍使用的,由长幅外摆线和渐开线组成的端面型线转子进行了研究,推导出转子接触线方程的一般求法,同时给出利用MATLAB表现空间接触线的新式方法;分析各段接触线的组成,给出了所生成接触线的形状、长度的计算以及一个齿间容积内不同转角位置时接触线的长度变化规律。其次,根据简化转子力学模型研究了转子的动平衡特性,提出了两种动平衡设计方案。文章为其它双螺杆泵转子的接触线和动平衡特性研究提供了理论依据及参考方法。
  • 中国真空学会2016学术年会征文通知
  • 会议官方网站:www.cvsnet.org.cn由中国真空学会主办、云南师范大学与北京大学承办的中国真空学会2016学术年会将于2016年8月12-14日在云南省昆明市举办。热切希望全体学会会员、理事及科研院所、企业同仁等踊跃投递论文。学术交流将采取多种形式:大会特邀报告,分会邀请报告,分会口头报告,张贴报告,会间将评选"最佳张贴报告奖"。
  • 液力传动型滑阀真空泵性能研究
  • 本文论述了液力传动的基本概念,对滑阀真空泵使用V型带传动所存在的问题进行了分析,阐明了将液力传动应用在滑阀真空泵上以后,既可以充分利用电机的最大扭矩启动的特点,来改善泵的启动性能,尤其是低温状态下的启动,整个启动过程平稳柔和,可隔离扭振,减缓启动冲击和振动,有效防止机械磨损,延长设备使用寿命;又可以利用它的限矩功能,将泵的能耗控制在一个适当的范围内,降低配套电机的功率,具有显著优异的节能效果。
  • 全国真空技术标准化技术委员会简介
  • 全国真空技术标准化技术委员会(代号:SAC/TC18,英文名称:National Technical Committee 18 on Vacuum Technology of Standardization Administration of China)成立于1980年,是经国家标准化管理委员会批准成立的第一批全国性专业技术标准化技术委员会,是跨部门的全国性标准化技术组织,在国家标准化管理委员会和中国机械工业联合会的领导下,负责全国真空技术领域标准化工作和国际标准化组织ISO/TC112(真空技术委员会)的国内对口工作。
  • 水环泵吸排气孔的位置对泵性能的影响
  • 本文通过技改项目,理论上阐述了水环泵临界压缩比的概念及其对泵性能的影响,分析了水环泵吸排气孔面积及开口位置与压缩比值的关系。当泵的运行工况超过临界压缩比后,如何通过修改内部结构将泵气流损失降低到最小以及泵的性能达到最优,对今后项目应用和系统改造具有重要参考意义。
  • 《真空》杂志被评为“中国科技核心期刊”
  • 《真空》杂志是各重点高校教师职称晋升时投稿首选刊物之一据报导,对中国(不含港、澳、台)出版的期刊中,核心期刊的认定目前国内有两种比较权威的版本。一是中国科技信息研究所(简称中信所)每年出一次的《中国科技期刊引证报告》。《引证报告》是从国内的科技期刊中选出1300多种中、
  • 基于材料放气特性的杜瓦真空失效时间研究
  • 杜瓦真空失效的两类模式是漏气和材料放气。漏气是导致杜瓦真空早期失效的主要原因,可通过工艺控制手段解决真空短命问题,材料放气是制约长寿命杜瓦真空寿命的根本原因。杜瓦放气特性是进行杜瓦真空失效时间计算的基础,建立杜瓦材料放气特性的合理测试方法成为评估杜瓦真空失效时间的关键。本文分析了小孔流导法和压强上升法测试杜瓦放气特性存在的固有问题,提出了进行杜瓦放气量测试的合理方案。杜瓦放气量测试是杜瓦真空可靠性研究的有效手段。杜瓦的放气特性不仅可用于杜瓦真空失效时间的评估,而且可用于计算杜瓦真空加速寿命试验的加速因子。
  • 质谱分析和检漏专业委员会第十八届年会圆满闭幕
  • 2015年10月21-23日,中国真空学会质谱分析和检漏专委会、中国计量测试学会真空计量专业委员会、陕西省真空学会联合举办全国学术年会,会议由中国真空学会质谱分析和检漏专委会主任闫荣鑫研究员和中国真空学会副理事长李得天研究员主持。
  • 实验低温冷板抽气装置性能测试及分析
  • 本文详细介绍了放置在100 MeV强流紧凑型回旋加速器主磁铁谷区的实验低温冷板抽气装置的设计,并加工了实验低温冷板性能测试罩,对实验低温冷板内置及外置情况下的抽气参数如抽速、极限压力、抽气容量等参数进行了测试,并对两种不同情况下的测试结果进行了分析比较。结果表明,内置抽速为外置抽速的2.67倍,外置极限真空为内置极限真空的2.75倍,结合100 MeV强流紧凑型回旋加速器的实际情况,100 MeV低温板系统的理论抽速与入口综合流导之比应满足1.1倍工程设计要求。
  • 便携式动态相对法真空标准装置简介
  • 便携式动态相对法真空标准装置(如图所示)为沈阳真空技术研究所、国家真空设备质量监督检验中心研制的现场校准设备,良好的解决了真空设备连续生产无法送检校准、真空计送检过程易损等问题。为用户带来更大效益与便利。主要用途:用于对现场的各类真空计的校准。
  • 动态相对法真空标准装置简介
  • 动态相对法真空标准装置(如图所示)为沈阳真空技术研究所、国家真空设备质量监督检验中心研制,主要技术指标均达到国内先进水平,并通过了中国计量科学研究院考核,具有校准范围宽,气体动平衡稳定性好等特点。
  • 中频真空感应钎焊炉控制系统的设计
  • 本文介绍了中频真空感应钎焊炉以PLC为系统控制核心,辅助工业用计算机及触摸屏为人机界面,梯形图为编程语言,Lab VIEW图形化组态软件;详述了控制系统的设计、难点及解决方法;依据控制系统工艺要求,完成了系统硬件及软件的设计;设备使用证明系统操作简单方便,稳定可靠,满足系统控制要求。
  • 连续式真空炉传动系统到位开关的几种型式
  • 为了提高产能和节约能源,在工业生产时要用到连续式真空炉。由于工件一直处于炉内,因此工件的转移和到位均需要使用传感器(到位开关)进行控制。本文以双室真空油淬炉为连续式真空炉的代表性炉型进行分析说明,具体介绍了钢在热处理冷却过程中的等温转变过程,以及传感器(到位开关)设置位置与灵敏度的重要性,最后举例说明几种开关的设置型式及特点比较。
  • 2015年“纳米材料与器件研究国际研讨会”在内蒙古大学成功召开
  • 2015年"纳米材料与器件研究国际研讨会"于2015年7月3-6日在内蒙古大学举办。会议主要集中在表面物理性质的STM研究、碳材料(特别是Graphene)的制备与物理性质、自旋相关物理现象、纳米电子器件研究以及纳米颗粒物理性质的研究等五个方面的最新研究进展展开了讨论。
  • 中频倍压整流在小型直流高压电源中的应用
  • 直流高压电源作为离子注入机的重要组成部分,其控制方式、工作频率、拓扑结构等的差异,都会对注入机系统运行效率和稳定性产生巨大的影响。离子注入机系统使用直流高压电源为离子加速系统提供能量,加速电压通常在5k V-100k V之间,离子束电流强度小于50mA。本文主要论述了一种小型直流高压电源的线路结构和中频倍压整流电路的优化设计。实验结果表明该直流高压电源不仅稳定度高、可靠性好、操控方便,并且更加小型化。
  • 真空检漏技术在自耗电弧炉维修中的应用
  • 本文结合真空检漏的概念及意义,根据真空自耗电弧炉真空系统的特点,详细讲述了真空检漏的原理及其注意事项,通过实际生产过程中实际的检漏过程总结出了检漏仪应用过程中的注意事项,对今后实际生产具有重要的指导意义。
  • 国际薄膜大会Thin Films 2016 新加坡2016.07.12-15
  • 薄膜领域最具影响力的国际会议"Thin Films 2016"将于2016年7月12号-15号在新加坡召开。此次国际会议是国际薄膜学会主办的薄膜及涂层领域的又一次盛会。"Thin Films 2016"国际会议是国际薄膜学会系列会议的第8届,大会主席为国际薄膜学会理事长、
  • 真空漏率校准装置的研制和应用
  • 真空漏率校准装置可以对(10~5~10~(-4))Pa范围内的各种真空计和(10~(-7)~10~(-9))Pa·m~3/s的真空漏孔进行校准。该装置的特点是结构简单、量程宽、易操作和工作效率高。
  • 《离子镀膜技术》视频片已经在“网易云课堂"播放
  • 真空界著名专家王福贞教授编制的《离子镀膜技术》视频片已经在“网易云课堂”播放。离子镀膜技术是制备高新技术产品的关键技术。离子镀膜技术方面的知识是与国家发展、人民生活关系更为密切的知识。目前,在课堂上,学生学习这项技术的相关知识较少,而且离子镀膜技术是在多种气体放电中进行的,学生只看书或听教师口述,对相关内容的理解比较困难,
  • 紫外固化浇铸法制作PUA蛾眼结构
  • 本文采用聚氨酯丙烯酸酯(PUA)通过紫外固化浇铸复制多孔氧化铝(AAO)模板制作蛾眼微结构。PUA低粘度和低表面能特性保证了高深宽比柱状阵列结构的精确复制。测量制备的蛾眼结构与水的接触角大于150°,得出蛾眼结构具有超疏水的表面特性,分析了超疏水机理;测量分析了蛾眼结构在400nm-800nm波段的表面透射率较表面无图形的聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜有显著提高,且周期越小的蛾眼结构提高越明显。
  • 第20届国际真空大会将于2016年8月在韩国釜山举行
  • 国际真空大会是IUVSTA国际真空联盟最重要的大型国际会议,每三年举办一次,在欧洲、亚洲和美洲轮流举行。第20届国际真空大会(IVC-20)(The 20th International Vacuum Congress,IVC-20)将于2016年8月22-26日在韩国釜山举行,届时中国真空学会将组织观摩团,前往韩国釜山进行学术交流活动。
  • 第十九讲 真空溅射镀膜
  • (接2015年第6期第80页)(1)磁控溅射的放电特性磁控溅射放电均为低压等离子体放电,各种阴极靶的放电电流—电压特性基本一致。随着放电电流的增加,放电电压均需要增高;随着工作气压的增高,放电电压下降;磁场对放电特性有影响。
  • [薄膜]
    真空卷绕镀膜技术研究进展(李建昌;邵思佳;杨贻谋)
    电弧离子镀TiN/Ti纳米多层膜的力学性能(张臣;黄美东;陈泽昊;程芳;王宇)
    [信息]
    四川省真空学会举办2015年磁控溅射技术交流会
    [薄膜]
    中频脉冲非平衡磁控溅射技术制备类金刚石膜的结构与性能(王俊玲;代海洋)
    [信息]
    深圳市真空学会召开第五届二次会员代表大会暨2015年学术年会
    [薄膜]
    (TiZr)N硬质膜的沉积工艺研究(刘冬玲;张钧;明悦)
    [信息]
    太空旅游燃热点 科普教育新突破——510所《载人航天与太空旅游》正式出版
    [真空获得与设备]
    蒸汽喷射器数值模拟研究进展(华枫;廖国进)
    螺杆真空泵技术领域的专利分析(赵凡;张世伟;韩进;张志军)
    [信息]
    航天510所“高精度微小气体流量测量新技术及应用”获国家技术发明二等奖
    [真空获得与设备]
    一种双螺杆真空泵转子的接触线及动平衡特性研究(汪祚远;李琦;施毅;董中林;干蜀毅)
    [信息]
    中国真空学会2016学术年会征文通知
    [真空获得与设备]
    液力传动型滑阀真空泵性能研究(许涛;郑慧萍;罗根松;王贵;周君斐)
    [信息]
    全国真空技术标准化技术委员会简介
    [真空获得与设备]
    水环泵吸排气孔的位置对泵性能的影响(李峰;李娟;陈阳)
    [信息]
    《真空》杂志被评为“中国科技核心期刊”
    [真空获得与设备]
    基于材料放气特性的杜瓦真空失效时间研究(张亚平;朱颖峰;刘湘云;徐冬梅;徐世春;赵维艳;聂喜亮)
    [信息]
    质谱分析和检漏专业委员会第十八届年会圆满闭幕
    [真空获得与设备]
    实验低温冷板抽气装置性能测试及分析(潘高峰;张素平;张天爵;邢建升;秦久昌;李振国)
    [信息]
    便携式动态相对法真空标准装置简介
    动态相对法真空标准装置简介
    [真空冶金]
    中频真空感应钎焊炉控制系统的设计(吴爱荣)
    连续式真空炉传动系统到位开关的几种型式(张海南;邢旺;苏宁;李忠仁)
    [信息]
    2015年“纳米材料与器件研究国际研讨会”在内蒙古大学成功召开
    [测量与控制]
    中频倍压整流在小型直流高压电源中的应用(冷利军;蒲世豪;但敏;陈常)
    真空检漏技术在自耗电弧炉维修中的应用(姬向锋)
    [信息]
    国际薄膜大会Thin Films 2016 新加坡2016.07.12-15
    [测量与控制]
    真空漏率校准装置的研制和应用(刘兴胜;陈旭;解永蓉;费渭南)
    [信息]
    《离子镀膜技术》视频片已经在“网易云课堂"播放
    [真空应用]
    紫外固化浇铸法制作PUA蛾眼结构(桑艾霞;王旭迪;魏本猛)
    [信息]
    第20届国际真空大会将于2016年8月在韩国釜山举行
    [真空技术应用系列讲座]
    第十九讲 真空溅射镀膜(张以忱)
    《真空》封面
      2008年
    • 01

    主办单位:中国机械工业集团公司 沈阳真空技术研究所

    社  长:苏原

    地  址:沈阳市沈河区万柳塘路2路

    邮政编码:110042

    电  话:024-24134406

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