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文献检索:
  • 离子注入机大行程垂直扫描系统的研制 免费阅读 收费下载
  • 采用垂直扫描系统是离子注入机最常用的扫描方式之一,着重阐述了一种大行程垂直扫描系统的系统构成、设计思路和实现方法。经过实际使用证明,该系统提高了离子注入机机械扫描的可靠性和稳定性。
  • BF_2~+离子注入时磷杂质离子污染控制的研究 免费阅读 收费下载
  • 同一台离子注入机B,P离子交叉注入,残留的磷和BF3分解产生的F生成50PF+,成为难控隐患。研究指出,实际注入晶圆的平均质量数,呈以目标离子质量数为中心的正态分布;49BF2+与50PF+因质量数接近而存在可能的重叠分布区,这是出现磷污染的原因;指出改善质量分析器的控制精度,可在线调控以避免磷污染。通过比较发现,当质量分析器设定为49±0.5且注入高束流达800μA时,离子注入机不能侦测到临近目标质量数的杂质离子。离子注入机经80 h注入31P+后再交叉注入的老化实验准备,当引弧电流达3 100μA时,电性测试发现,质量分析器设定为49±0.3(质量分辨率m/Δm=169.3)的样品无磷污染。进一步研究了多重老化因素叠加效应,经同样的老化实验准备、引弧电流为3 100μA且注入束流为800μA时,注入剂量为2.2×1015的49BF2+,当质量分析器严控为49±0.3,经SI MS(secondaryion mass spectroscopy)分析二个样品均未发现磷的高能峰。改进质量分析器控制设定数值的解决方案经生产验证有效,无需Frederic Sahores(2002 IEEE)的如增加清洗频率或分离子...
  • 微机电系统封装技术 免费阅读 收费下载
  • 首先提出了MEMS封装技术的一些基本要求,包括低应力、高真空、高气密性、高隔离度等,随后简要介绍了MEMS封装技术的分类。在此基础上,综述了三个微机电系统封装的关键技术:微盖封装、圆片级芯片尺寸封装和近气密封装,并介绍了其封装结构和工艺流程。
  • 微凸起及微坑结构的放电加工基础性研究 免费阅读 收费下载
  • 机械零件表面形成微凸起及微坑结构在摩擦学、仿生制造等领域具有重要意义。微细电火花加工是一种重要的精密微细加工技术,已经成为微三维实体制造的有效手段之一。通过选用合适的切割轨迹和电参数,能以电火花线切割微精加工多种形状的微凸起电极,继而以电火花成形加工出微坑结构;或者直接用电火花线切割加工微凸起结构。分析了加工电参数对电极制备精度的影响及加工前后电极形状尺寸的变化,研究了所获微坑的几何参数及表面形貌特性,并对微凸起、微坑以及平面结构的摩擦磨损性能进行了初步分析比较。
  • 用X光光刻法制备亚波长抗反射结构 免费阅读 收费下载
  • 为了提高太阳电池的转换效果,降低反射光栅的偏振敏感性,开发了一种新的抗反射结构的微细加工技术。首先用X光光刻在PMMA光刻胶上得到相应的亚微米级的线宽图形,再利用显影技术获得了高深宽比的立体亚波长纳米结构,即抗反射结构。设计了适用于可见光波段的二维亚波长抗反射光栅,用X光光刻制作工艺在硅衬底上进行了实验制备。用此纳米加工技术获得了线宽为150 nm、高度约为450 nm(即深宽比为3.0)的PMMA减反射结构。同时还优化了曝光近接间隔、曝光剂量、显影时间等X光光刻参数。
  • 用于ICF驱动器的色分离光栅的制作 免费阅读 收费下载
  • 介绍了色分离光栅的设计原理,并对其制作工艺进行了研究。用套刻法以能量为450 eV、束流密度为80 mA/cm2、30°入射角的离子束对100 mm×100 mm石英基片进行刻蚀,制作出了周期为300μm色分离光栅。实验测得零级次上3ω(351 nm)光的归一化衍射效率达到了91.9%。结果表明,这套工艺方法在制作高衍射效率的CSG是可行的,并且具有刻蚀图形分辨率高、侧壁较陡等优点,为进一步制作高衍射效率的色分离光栅提供了参考。
  • 基于MEMS技术的微型燃烧器的特性分析与设计 免费阅读 收费下载
  • 为了改善微型燃烧器内的燃烧性能,分析了微型燃烧器燃烧时存在的主要问题,并提出了相应的燃烧策略。根据微型燃烧器的特点,采用旋流预混、增设预混通道、燃气出口通道和简化管道接气装置等方法对微型燃烧器的结构进行改进设计。改进后,可延长燃料与空气在预混腔的预混时间,增强预混效果;充分利用燃气热量,提高预混气体的初温,减少微型燃烧器散热,利于燃气着火。延长燃气在燃烧室内的燃烧时间,并增强气流扰动。管道接气装置可简化气源管道连接问题,管道间距的加大也使其安装连接更为方便,气密性的保证也相对更容易。为下一步开展微型燃烧器内气体预混催化重整燃烧等实验研究打下了基础。
  • Al掺杂ZnO薄膜的XPS谱及电学性质研究 免费阅读 收费下载
  • 采用直流反应磁控溅射法在玻璃基底上用Zn(99.99%)掺杂Al(1.5%)靶制备出高质量的Al掺杂的ZnO(AZO)薄膜。用X射线光电子能谱仪对退火处理后的薄膜进行了成分和元素的价态分析,并用Van der Pauw方法对样品的电学特性进行了测量。实验结果表明,Zn和Al元素都以氧化态的形式存在,O元素主要是以晶格氧和吸附氧的形式存在。AZO薄膜的电学性质受退火温度和氧氩比的影响较大。随着退火温度的升高,电阻率减小,载流子浓度和迁移率增大。随着氧氩比的增大,电阻率增大,迁移率减小。因此可得到用直流反应磁控溅射法制备AZO薄膜的最佳氧氩比和退火温度分别为0.3/27和400℃,在此条件下制备出的薄膜电阻率可低至10-4Ω.cm,载流子浓度可达1020cm-3。
  • 碳纳米尖端形成的理论分析 免费阅读 收费下载
  • 用CH4,H2和NH3为反应气体,利用等离子体增强热丝化学气相沉积在沉积有碳膜的Si衬底上制备了碳纳米尖端。用原子力显微镜和微区Raman光谱仪对碳膜进行了表征,结果表明,碳膜是粗糙不平的非晶碳膜。用扫描电子显微镜研究了不同条件下生长的碳纳米尖端,结果表明,碳纳米尖端的形成与离子的轰击有关。根据实验结果,利用离子沉积和溅射等有关的理论建立了碳纳米尖端形成的三维理论模型,并利用该模型对实验结果进行了解释,它将对控制碳纳米尖端的生长和应用研究有很大的意义。
  • 氧化铝/聚甲基丙烯酸复合粒子的抛光性能 免费阅读 收费下载
  • 在化学机械抛光(CMP)中,为了提高氧化铝磨料的分散稳定性及减少抛光划痕,通过硅烷偶联剂在其表面接枝了聚甲基丙烯酸(PMAA)制得了一种新型的复合粒子(-αAl2O3-g-PMAA)。SEM结果表明,制得的复合粒子分散稳定性明显提高。进而用SPEEDFAM-16B-4M抛光机研究了其在玻璃基片中的抛光性能。抛光后玻璃基片表面的ZYGO表面形貌仪和AFM分析结果表明,在相同的抛光条件下,与纯Al2O3磨料相比,所制得的复合粒子表现出了低的表面粗糙度及划痕。该复合粒子可望用做新型CMP磨粒。
  • 可逆示温微胶囊的制备及性能研究 免费阅读 收费下载
  • 采用油相分离法,以示温变色材料CoCl2.6H2O为芯材料,乙基纤维素、聚乙烯为壳材料,Span80为乳化剂,环己烷(HC)为溶剂,制备了可逆示温微胶囊。利用扫描电子显微镜、光学显微镜和热台偏光显微镜对可逆示温微胶囊进行了结构表征与性能分析,对所制备可逆示温微胶囊材料的耐疲劳性、耐溶剂性以及与高分子材料的相容性进行了研究,并重点就可逆示温微胶囊在油墨中的制备工艺、对油墨性能的影响进行了深入的研究与讨论。结果表明,所制备的微胶囊粒径均匀,平均粒径为4.5μm。所制备的可逆示温丝网油墨具有优良的性能。
  • 静电纺丝法制备钇铁石榴石单晶纳米纤维 免费阅读 收费下载
  • 介绍了用静电纺丝法制备钇铁石榴石(YIG)磁光单晶纳米纤维材料的研究工作,其主要制备方法是将合成YIG所需金属元素的醇盐溶解于有机溶剂,通过静电纺丝法制备出了复合超细纤维,然后进行热处理,得到晶态磁光纳米纤维。对制备的复合纤维和热处理后的磁光纤维作了扫描电镜(SEM)分析,对热处理后的纤维作为了透射电镜(TEM)和X射线衍射(XRD)测试。通过对测试结果的分析发现,在纺丝过程中微量注射泵的推进速度和空气相对湿度是主要影响因素,推进速度和相对湿度减小,都有利于成丝。复合纤维的直径在500 nm~1 000 nm之间,经过750℃热处理后,样品仍然能保持纤维状结构,纤维直径在100 nm左右,并能够合成出单晶钇铁石榴石相。
  • 采用丙酮催化燃烧法制备多壁碳纳米管 免费阅读 收费下载
  • 为了探索一种简单而有效的制备多壁碳纳米管的方法,以丙酮为碳源,硝酸镍为催化剂先体,通过催化燃烧工艺在铜薄片基底上制备了多壁碳纳米管。采用扫描电子显微镜、透射电子显微镜、拉曼光谱仪对样品进行表征。结果表明,采用丙酮催化燃烧工艺合成出了多壁碳纳米管。通过拉曼光谱分析,估算了样品中的缺陷含量。该实验方法较之其它方法具有实验装置简单、易于操作、实验成本低、制备周期短等特点。
  • 靶材自制ZAO薄膜的制备与光电性能 免费阅读 收费下载
  • 采用传统陶瓷烧结工艺,制得性能良好的Al掺杂ZnO陶瓷靶。以此靶为溅射源,利用射频磁控溅射法制备ZAO薄膜,着重研究了400℃保温2 h重复退火次数对ZAO薄膜的组织结构及光电性能的影响。结果表明,随着重复退火次数的增加,薄膜晶体结构保持不变,薄膜结晶质量提高,但晶格尺寸逐渐变小;同时,随着退火次数增加,样品的平均透光率虽稍下降,但所有样品的透光率仍保持在80%以上,呈现良好的透光性;除经3次重复退火的样品外,退火使其它样品的紫外吸收边从375 nm附近移至360 nm左右;重复退火次数的增加使样品的电阻率先明显降低,再有较大的回升,之后又降低,当重复退火两次时,电阻率降至最低,为8.5×10-4Ω.cm。对上述现象、结果及机理进行了详细讨论。
  • 离子注入机大行程垂直扫描系统的研制(肖仁耀 许波涛)
    BF_2~+离子注入时磷杂质离子污染控制的研究(彭坤 林大成)
    微机电系统封装技术(潘开林 李鹏 宁叶香 颜毅林)
    微凸起及微坑结构的放电加工基础性研究(杨志伟 云乃彰 陈建宁)
    用X光光刻法制备亚波长抗反射结构(李以贵 杉山进)
    用于ICF驱动器的色分离光栅的制作(胡新宁 刘刚 田扬超)
    基于MEMS技术的微型燃烧器的特性分析与设计(闫云飞 张力 冉景煜 唐强 马盟 邱赟)
    Al掺杂ZnO薄膜的XPS谱及电学性质研究(李丽 方亮 李秋俊 陈希明 董建新 冯世娟)
    碳纳米尖端形成的理论分析(党纯 王廷志)
    氧化铝/聚甲基丙烯酸复合粒子的抛光性能(雷红 张泽芳)
    可逆示温微胶囊的制备及性能研究(乔吉超 胡小玲 管萍 柏雪倩)
    静电纺丝法制备钇铁石榴石单晶纳米纤维(陈莹莹 张溪文 候建梅 韩高荣)
    采用丙酮催化燃烧法制备多壁碳纳米管(李飞 邹小平 程进 任鹏飞 张红丹 王茂发 朱光 苏燚)
    靶材自制ZAO薄膜的制备与光电性能(江民红 刘心宇 李海麒)
    《微细加工技术》封面

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